SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列电子行业标准(SJ)-工标网

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标准简介

本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。
本标准适用于极限压力为3 x 10-3P二一5 x ]0-6P:范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。


英文名称：	Basic parameter series of evaporation plating equipment
替代情况：	SJ 1098-77 SJ 1099-77
中标分类：	医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理
ICS分类：	电子学>>31.020电子元件综合
发布部门：	中华人民共和国电子工业部
发布日期：	1997-09-03
实施日期：	1998-01-01
归口单位：	电子工业部标准化研究所
起草单位：	成都南光实业股份有限公司
起草人：	陈华先、谭丽、康开丽
页数：	4页
出版社：	电子工业部标准化研究
出版日期：	1998-01-01
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