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标准编号:GB 4057-1983  |
| 标准名称:硅单晶微缺陷的化学腐蚀检验方法 |
| 标准定价:¥8.0元 |
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| 简介:
本标准行之有效用于电阻率10-1~104Ω.cm的硅单晶。 |
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| 英文名称: |
Singie crystal sllicon-Detection of microdefects-Chemical etching technique |
| 标准状态: |
已作废 |
替代情况: |
被GB/T 1554-1995代替 |
中标分类: |
冶金>>金属理化性能试验方法>>H25金属化学性能试验方法
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UDC分类: |
669.782;548.55;620.193.4 |
| 发布日期: |
1983-12-20 |
| 实施日期: |
1984-12-01
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| 起草单位: |
峨眉半导体材料研究所 |
| 页数: |
3页 |
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