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硅单晶切割片和研磨片

国家标准
标准编号:YB 1603-1983 标准状态:现行
标准价格:14.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准适用于制造半导体器件(分立器件和集成电路)的三种等直径硅单晶切割片和双面研磨片。用作其他器件的硅单晶切割片和研磨片,可参照本标准确定其相应的技术参数。
发布部门:  中华人民共和国冶金工业部
发布日期:  1983-08-18
实施日期:  1984-10-01
页数:  8页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  1984-10-01
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