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卧式液相外延系统通用规范

标准
标准编号:SJ/T 11275-2002 标准状态:现行
标准价格:15.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备亦可参照执行。
英文名称:  Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L92电子设备用绝缘零件
什么是ICS分类?  ICS分类:  电气工程>>29.260特殊工作条件用电气设备
发布日期:  2002-10-30
实施日期:  2003-03-01
起草单位:  中国电子科技集团公司第四十八所
页数:  12页
出版社:  工业电子出版社
出版日期:  2004-04-18
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