集成电路用过氧化氢 |
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| 标准编号：T/ICMTIA 2-2019 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：24.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了集成电路用过氧化氢(H2O2)的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于集成电路制造过程中使用的过氧化氢。
分子式：H2O2
相对分子质量：34.01(按2011年国际相对原子质量) |
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| 英文名称： |
Hydrogen peroxide for intergrated circuits |
 中标分类： |
化工>>化学试剂>>G64高纯试剂、高纯物质 |
| ICS分类： |
化工技术>>无机化学>>71.060.20氧化物 |
| 发布部门： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 发布日期： |
2019-04-17 |
| 实施日期： |
2019-10-10
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| 提出单位： |
集成电路材料产业技术创新联盟(ICMtia) |
| 归口单位： |
集成电路材料产业技术创新联盟(ICMtia) |
| 起草单位： |
苏州晶瑞化学股份有限公司、同济大学、北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司 |
| 起草人： |
刘兵、钱森林、王洪华、傅华、高小云、康劲、葛军、赵健、柴春玲、赵晓东、张惠平 |
| 页数： |
24页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2021-08-01 |
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