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| 英文名称： |
Surface chemical analysis—Depth profiling—Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy,Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films |
 中标分类： |
化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法 |
| ICS分类： |
化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析 |
| 采标情况： |
ISO 17109:2015 IDT |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2021-12-31 |
| 实施日期： |
2022-07-01
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| 提出单位： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 归口单位： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 起草单位： |
清华大学、中国石油大学(北京) |
| 起草人： |
姚文清、段建霞、杨立平、王雅君、李展平、徐同广、王岩华 |
| 页数： |
20页【彩图】 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2021-12-01 |