工标网 回首页
标准分类  最新标准New!  标准公告 标准动态  标准论坛
 高级查询
帮助 | 登录 | 注册
查标准上工标网 免费查询标准最新替代作废信息
 您的位置:工标网 >> >> GB/T 41153-2021

碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法

国家标准
标准编号:GB/T 41153-2021 标准状态:现行
标准价格:24.0 客户评分:星星星星1
立即购买工即可享受本标准状态变更提醒服务!
点击放入购物车 如何购买?问客服 放入收藏夹,免费跟踪本标准更替信息! 参与评论本标准
标准简介
本文件规定了碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的二次离子质谱测试方法。
本文件适用于碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的定量分析,测定范围为硼含量不小于5×1013 cm-3、铝含量不小于5×1013 cm-3、氮含量不小于5×1015 cm-3,元素浓度(原子个数百分比)不大于1%。
英文名称:  Determination of boron,aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>77.040金属材料试验
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2021-12-31
实施日期:  2022-07-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位:  中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山东天岳先进科技股份有限公司
起草人:  马农农、何友琴、陈潇、刘立娜、何烜坤、李素青、张红岩
页数:  8页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2021-12-01
  [ 评论 ][ 关闭 ]

半金属及半导体材料分析方法相关标准 第1页 第2页 第3页 
 GB/T 42274-2022 氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定 二次离子质谱法
 GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法
 GB 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
 GB/T 4373.1-1984 砷化学分析方法 溴酸钾容量法测定砷量
 GB/T 4373.2-1984 砷化学分析方法 孔雀绿光度法测定锑量
 GB/T 4373.3-1984 砷化学分析方法 硫酸钡重量法测定硫量
 GB/T 4373.4-1984 砷化学分析方法 二硫代二安替吡啉基甲烷光度法测定铋量
 GB/T 4699.1-1984 硅铬合金化学分析方法 重量法测定硅量
 GB/T 4699.2-1984 硅铬合金化学分析方法 碱熔-过硫酸铵氧化容量法测定铬量
 GB/T 4699.3-1984 硅铬合金化学分析方法 钼蓝光度法测定磷量
 免费下载半金属及半导体材料分析方法标准相关目录

金属材料试验相关标准 第1页 第2页 第3页 第4页 第5页 更多>> 
 GB/T 41765-2022 碳化硅单晶位错密度的测试方法
 GB 4192-1984 电真空器件及电光源用钨、钼材料电阻率的测试方法
 GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
 GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法
 GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
 GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法
 GB/T 42789-2023E 硅片表面光泽度的测试方法(英文版)
 GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法
 GB/T 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法
 GB/T 42905-2023E 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法(英文版)
 免费下载金属材料试验标准相关目录

 发表留言
内 容
  用户:   口令:  
 
 
客服中心
有问题?找在线客服 点击和客服交流,我们的在线时间是:工作日8:30至18:00,节假日;9:00至17:00。工标网欢迎您和我们联系!
未开通400地区或小灵通请直接拨打0898-3137 2222 400-7255-888
客服QQ 1197428036 992023608
MSN或电子邮件 18976748618 13876321121
温馨提示:标准更新替换较快,请注意您购买的标准时效性。
常见问题 帮助中心
我为什么找不到我想要的标准?
配送范围、配送时间和收费标准
如何付款,支持哪些付款方式?
必备软件下载
Adobe Acrobat Reader 是一个查看、 阅读和打印PDF文件的最佳工具,通 过它可以查阅本站的标准文档
pdf下载
搜索更多
google 中搜索:GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
baidu 中搜索:GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
yahoo 中搜索:GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
soso 中搜索:GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
中搜索:GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
 
付款方式 - 关于我们 - 帮助中心 - 联系我们 - 诚聘英才 - 合作伙伴 - 使用条款
QQ:1197428036 992023608 有问题? 联系在线客服
Copyright © 工标网 2005-2023,All Right Reserved