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| 英文名称： |
Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips |
 中标分类： |
仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器 |
| ICS分类： |
化工技术>>分析化学>>71.040.50物理化学分析方 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2024-03-15 |
| 实施日期： |
2024-10-01
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| 提出单位： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 归口单位： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 起草单位： |
广东省科学院工业分析检测中心、南方科技大学、胜科纳米（苏州）股份有限公司 |
| 起草人： |
伍超群、于洪宇、乔明胜、陈文龙、周鹏、邱杨、黄晋华、汪青、程鑫 |
| 页数： |
16页【彩图】 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |