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| 英文名称： |
Terms of microlithography technology for microelectronics |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料 |
| ICS分类： |
31.030 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2024-12-31 |
| 实施日期： |
2024-12-31
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
中国科学院微电子研究所 |
| 起草人： |
陈宝钦、王香、李和委、王力玉、李新涛、冯伯儒、薛丽君、郝美玲、薛彩荣 |
| 页数： |
192页【胶订-大印张】 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |