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| 英文名称： |
Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM |
 中标分类： |
化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法 |
| ICS分类： |
化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析 |
| 采标情况： |
ISO 21466:2019 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2025-08-29 |
| 实施日期： |
2026-03-01
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| 提出单位： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 归口单位： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 起草单位： |
中国科学技术大学、新疆师范大学、中国科学院合肥物质科学研究院、安徽大学 |
| 起草人： |
丁泽军、陆大宝、邹艳波、毛世峰、李永钢、李会民 |
| 页数： |
52页【彩图】 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |