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| 英文名称: |
Determination of acidity in electronic gas—Part 1:Fourier transform infrared spectroscopy |
| 标准状态: |
即将实施 |
中标分类: |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
ICS分类: |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门: |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期: |
2025-10-31 |
| 实施日期: |
2026-05-01
即将实施 距离实施日期还有12天 |
归口单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位: |
浙江省化工研究院有限公司、中国石油天然气股份有限公司规划总院、昊华气体有限公司西南分公司、绍兴市质量技术监督检测院、福建德尔科技股份有限公司、浙江凯德化工有限公司、湖北和远气体股份有限公司、天津绿菱气体股份有限公司、浙江瑞亨电子材料有限公司等 |
| 起草人: |
史婉君、陈进殿、青颖、王建刚、曹素英、朱华良、黄龑、江罗、盛亦斌、张朝春、汤萍、易维涛、阮建伟、李建新、祝岩、江月军、金星屹、李永军、王新喜、曲昆、李梧、史兰、李景升、刘军航、彭立培、郭绪涛、赖晓峰、钟卉菲、张琦炎、张体强、尹冬梅、周鑫、尚柏羊、何睿等 |
| 页数: |
16页 |
| 出版社: |
中国标准出版社 |