集成电路用电子级多晶硅 |
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| 标准编号：T/ICMTIA SM0028-2022 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：29.0 元 |
客户评分：  |
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本文件规定了集成电路用电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的集成电路用电子级多晶硅（以下简称“多晶硅”）。 |
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 ICS分类： |
综合、术语学、标准化、文献>>01.020术语学(原则和协调配合) |
| 发布部门： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 发布日期： |
2022-05-10 |
| 实施日期： |
2022-05-31
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| 提出单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 归口单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 起草单位： |
江苏鑫华半导体材料科技有限公司、有研半导体硅材料股份公司、上海新昇半导体科技有限公司、西安奕斯伟硅片技术有限公司、中环领先半导体材料有限公司 |
| 起草人： |
田新、赵培芝、万首正、曹孜、赵而敬、冯天、陈强、兰洵、赵玉风、由佰玲 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
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