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微米级长度的扫描电镜测量方法

国家标准
标准编号:GB/T 16594-1996 标准状态:已作废
标准价格:8.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法,适用于测量0.5~10μm的长度,也适用于电子探针分析仪测量微米级长度。
英文名称:  Micron grade lenght measurement by SEM
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  GB/T 16594-2008代替
什么是中标分类? 中标分类:  仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器
什么是ICS分类?  ICS分类:  计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.01长度和角度测量综合
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1996-01-01
实施日期:  1997-04-01
作废日期:  2009-05-01
首发日期:  1996-11-04
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国微束分析标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  上海市测试技术研究所
页数:  平装16开, 页数:6, 字数:6千字
出版社:  中国标准出版社
书号:  155066.1-13653
出版日期:  2004-04-10
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本标准相关公告
·中华人民共和国国家标准批准发布公告2008年第16号(总第129号) [2008-12-09]

电子光学与其他物理光学仪器相关标准 第1页 第2页 第3页 第4页 
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