电子工业用气体 三氯化硼 |
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| 标准编号：GB/T 17874-1999 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：24.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。 |
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| 英文名称： |
Gases for electronic industry--Boron trichloride |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 17874-2010代替 |
| 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
国家质量技术监督局 |
| 发布日期： |
1999-09-01 |
| 实施日期： |
2000-06-01
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| 作废日期： |
2011-05-01
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| 首发日期： |
1999-09-16 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
光明化工研究设计院 |
| 页数： |
平装16开， 页数：8， 字数：11千字 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 标准前页： |
浏览标准前文 || 下载标准前页 |
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