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标准编号 标准名称 发布部门 实施日期 状态  GB/T 12964-2003  硅单晶抛光片 国家质量监督检验检疫. 2004-01-01 作废  GB/T 14847-1993  重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 国家技术监督局 1994-09-01 作废  GB/T 16523-1996  圆形石英玻璃光掩模基板规范 国家技术监督局 1997-05-01 现行  GB 6461-1986  金属覆盖层 对底材为阴极的覆盖层 腐蚀试验后的电镀试样的评级 1987-05-01 作废  GB 6615-1986  硅片电阻率的直排四探针测试方法 1987-07-01 作废  GB 6616-1986  硅片电阻率的非接触式测试方法 1987-07-01 作废  GB 6617-1986  硅片电阻率的扩展电阻探针测试方法 1987-07-01 作废  GB 6618-1986  硅片厚度和总厚度变化的测试方法 1987-07-01 作废  GB 6619-1986  硅片弯曲度的接触式测试方法 1987-07-01 作废  GB 6620-1986  硅片翘曲度的非接触式测试方法 1987-07-01 作废  GB 6621-1986  硅抛光片表面平整度的非接触式测试方法 1987-07-01 作废  GB 6622-1986  硅化学抛光片漩涡缺陷和条纹的测试方法 1987-07-01 作废  GB 6623-1986  硅抛光片表面热氧化层错的测试方法 1987-07-01 作废  GB 6624-1986  硅抛光片表面质量目测检验方法 1987-07-01 作废

共有14条符合状态条件的标准，共1页 现行 即将实施 作废 废止

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