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标准编号 标准名称 发布部门 实施日期 状态  JB/T 5630-1991  半导体器件扩散炉 能耗分等 机械电子工业部 1992-07-01 废止  SJ/T 11451-2013  扩散炉能源消耗规范 工业和信息化部 2013-12-01 作废  SJ/T 11451-2022  扩散炉能源消耗规范 工业和信息化部 2023-01-01 现行  SJ/T 11883-2022  扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法 工业和信息化部 2023-01-01 现行  SJ 1794-1981  半导体器件生产用扩散炉通用技术条件 1981-10-01 现行  SJ 2065-1982  半导体器件生产用扩散炉测试方法 1982-07-01 现行  SJ/T 31131-1994  4304型扩散炉完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止  SJ/T 31132-1994  ASM型微机扩散炉完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止

共有8条符合状态条件的标准，共1页 现行 即将实施 作废 废止

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