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| 英文名称： |
Micro-electromechanical system technology—Terms |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 26111-2023代替 |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合 |
| ICS分类： |
电子学>>31.200集成电路、微电子学 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2011-01-10 |
| 实施日期： |
2011-10-01
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| 作废日期： |
2023-09-01
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| 首发日期： |
2011-01-10 |
| 提出单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 归口单位： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 主管部门： |
全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 起草单位： |
中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学 |
| 起草人： |
丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波 |
| 页数： |
40页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2011-10-01 |