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光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法

国家标准
标准编号:GB/T 29851-2013 标准状态:现行
标准价格:24.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了用二次离子质谱仪(SIMS)测定光伏电池用硅材料中硼和铝含量的方法。
本标准适用于光伏电池用硅材料中受主杂质硼和铝含量的定量分析,其中硼和铝的浓度均大于1×1013atoms/cm3。其他受主杂质的测量也可参照本标准。
英文名称:  Test method for measuring boron and aluminium in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
什么是ICS分类?  ICS分类:  电气工程>>29.045半导体材料
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2013-11-12
实施日期:  2014-04-15
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
主管部门:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
起草单位:  信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司
起草人:  何友琴、马农农、王东雪、何秀坤、裴会川、冯亚彬、张雪囡
页数:  8页
出版社:  中国标准出版社
书号:  155066·1-48021
出版日期:  2014-04-15
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前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司。
本标准主要起草人:何友琴、马农农、王东雪、何秀坤、裴会川、冯亚彬、张雪囡。
本标准相关公告
·中华人民共和国国家标准批准发布公告2013年第22号 [2013-11-19]

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