1 ICS国际标准分类[29.045半导体材料]-工标网
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标准编号 标准名称 发布部门 实施日期 状态
 GB/T 11072-2009  锑化铟多晶、单晶及切割片 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 11093-2007  液封直拉法砷化镓单晶及切割片 国家质量监督检验检疫. 2008-02-01 现行
 GB/T 11094-2007  水平法砷化镓单晶及切割片 国家质量监督检验检疫. 2008-02-01 现行
 GB/T 12962-1996  硅单晶 国家技术监督局 1997-04-01 作废
 GB/T 12962-2005  硅单晶 国家质量监督检验检疫. 2006-04-01 作废
 GB/T 12962-2015  硅单晶 国家质量监督检验检疫. 2017-01-01 现行
 GB/T 12963-1996  硅多晶 国家技术监督局 1997-04-01 作废
 GB/T 12963-2009  硅多晶 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 作废
 GB/T 12963-2014  电子级多晶硅 国家质量监督检验检疫. 2015-09-01 现行
 GB/T 12964-1996  硅单晶抛光片 1997-04-01 作废
 GB/T 12964-2003  硅单晶抛光片 国家质量监督检验检疫. 2004-01-01 作废
 GB/T 12964-2018  硅单晶抛光片 国家市场监督管理总局. 2019-06-01 现行
 GB/T 12965-1996  硅单晶切割片和研磨片 国家技术监督局 1997-04-01 作废
 GB/T 12965-2005  硅单晶切割片和研磨片 国家质量监督检验检疫. 2006-04-01 作废
 GB/T 12965-2018  硅单晶切割片和研磨片 国家市场监督管理总局. 2019-06-01 现行
 GB/T 13387-2009  硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 13388-2009  硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 13389-2014  掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 国家质量监督检验检疫. 2015-09-01 现行
 GB/T 14139-2009  硅外延片 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 14139-2019  硅外延片 国家市场监督管理总局. 2020-05-01 即将实施
 GB/T 14140-2009  硅片直径测量方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 14141-2009  硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 14144-2009  硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 14146-2009  硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 14264-2009  半导体材料术语 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 14844-2018  半导体材料牌号表示方法 国家市场监督管理总局. 2019-11-01 即将实施
 GB/T 14847-2010  重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 国家质量监督检验检疫. 2011-10-01 现行
 GB/T 14863-2013  用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的方法 国家质量监督检验检疫. 2014-08-15 废止
 GB/T 1551-2009  硅单晶电阻率测定方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 1553-2009  硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 1554-2009  硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 1555-1997  半导体单晶晶向测定方法 国家技术监督局 1998-08-01 作废
 GB/T 1555-2009  半导体单晶晶向测定方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 1558-1997  硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法 国家技术监督局 1998-08-01 作废
 GB/T 1558-2009  硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行
 GB/T 16595-1996  晶片通用网格规范 国家技术监督局 1997-04-01 现行
 GB/T 16595-2019  晶片通用网格规范 国家市场监督管理总局. 2020-02-01 即将实施
 GB/T 16596-1996  确定晶片坐标系规范 国家技术监督局 1997-04-01 现行
 GB/T 16596-2019  确定晶片坐标系规范 国家市场监督管理总局. 2020-02-01 即将实施
 GB/T 17169-1997  硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法 国家技术监督局 1998-08-01 作废
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