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电子工业用气体 硅烷

国家标准
标准编号:GB/T 15909-2017 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全的内容。?本标准适用于硅化镁法、氢化铝钠还原四氟化硅法、氯硅烷歧化工艺法制备的电子工业用硅烷。 它主要用于制作高纯多晶硅、二氧化硅的低温化学气相淀积、氮化硅化学气相淀积、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料以及离子注入源和激光介质等,还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等。?分子式:SiH?4。?相对分子质量:32.117(按2011年国际相对原子质量)。?
英文名称:  Gas for electronic industry—Silane
什么是替代情况? 替代情况:  替代GB/T 15909-2009
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2017-05-31
实施日期:  2017-12-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1)
起草单位:  西南化工研究设计院有限公司、浙江赛林硅业有限公司、广东华特气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、天津长芦华信化工股份有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海计量测试研究院、化工气体质检中心等
起草人:  余京松、杨智敏、傅铸红、杜汉盛、孙福楠、牛艳东、李长富、周朋云、曲庆、方华、陈鹰、常侠、刘晓霞、周延江、高平洲、徐昕
页数:  16页
出版社:  中国质检出版社
出版日期:  2017-06-19
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本标准相关公告
·中华人民共和国国家标准批准发布公告2017年第13号 [2017-06-02]

工业气体与化学气体相关标准 第1页 第2页 
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 GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦
 GB/T 16943-2009  电子工业用气体 氦
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 GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼
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工业气体相关标准 第1页 第2页 第3页 
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 GB/T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯
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