集成电路用电子特种气体产品通用规范 |
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| 标准编号：T/ICMTIA ESG0031-2022 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：31.0 元 |
客户评分：  |
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本文件规定了集成电路用特种气体产品的分类、检验规则、标志、包装、运输及贮存的通用要求。
本文件适用于各种集成电路用特种气体产品。如有特殊要求，应在具体产品标准中予以明确。 |
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 ICS分类： |
综合、术语学、标准化、文献>>01.020术语学(原则和协调配合) |
| 发布部门： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 发布日期： |
2022-07-04 |
| 实施日期： |
2022-07-31
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| 提出单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 归口单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 起草单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟、欧中电子材料（重庆）有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、福建德尔科技有限公司、中巨芯科技股份有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、全椒南大光电材料有限公司、广东华特气体股份有限公司 |
| 起草人： |
王大方、雷海平、万烨、曹素英、赖金香、陈刚、赵铁、郑秋艳、纪振红、孙建、傅铸红、叶相平、施旖旎、蒋飚、祝飘、叶骏超、汤萍、孙猛、龚施健、李东升、徐昕、俞冬雷、侯鹏、钱吉、谈益强、高天龙 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
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