集成电路用混合气体 氟/氮 |
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| 标准编号：T/ICMTIA ESG0034-2023 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：31.0 元 |
客户评分：  |
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本文件规定了集成电路材料供应商质量评价的评价体系、评价指标和评价方法。
本文件适用于供应商自我评价、政府部门、行业组织、用户及第三方机构实施评价。其他相关评价活动可参照使用。 |
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 ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 发布日期： |
2023-03-01 |
| 实施日期： |
2023-04-01
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| 提出单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 归口单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 起草单位： |
福建德尔科技股份有限公司、大连大特气体有限公司 |
| 起草人： |
林百志、曹素英、李婷、李福芬、高天东、依俊廷 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
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