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硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容--电压法

国家标准
标准编号:GB/T 14146-1993 标准状态:已作废
标准价格:8.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容—电压测量方法。本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。
英文名称:  Silicon epitaxial layers-Determination of carrier concentration-Mercury probe valtage-capacitance method
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  被GB/T 14146-2009代替
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  29.040.30
什么是UDC分类?  UDC分类:  669.782
什么是采标情况? 采标情况:  DIN 50439-1982,REF
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1993-02-06
实施日期:  1993-10-01
作废日期:  2010-06-01
首发日期:  1993-02-06
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  上海市有色金属总公司
页数:  平装16开, 页数:6, 字数:8千字
出版社:  中国标准出版社
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