| 标准编号 |
标准名称 |
发布部门 |
实施日期 |
状态 |
| GB/T 26111-2010 |
微机电系统（MEMS）技术 术语 |
国家质量监督检验检疫.
|
2011-10-01 |
作废 |
| GB/T 26111-2023 |
微机电系统（MEMS）技术 术语 |
国家市场监督管理总局.
|
2023-09-01 |
现行 |
| GB/T 26112-2010 |
微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则 |
国家质量监督检验检疫.
|
2011-10-01 |
现行 |
| GB/T 26113-2010 |
微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则 |
国家质量监督检验检疫.
|
2011-10-01 |
现行 |
| GB/T 26113-2010E |
微机电系统（MEMS)技术 微几何量评定总则（英文版） |
General Ad.
|
2011-10-01 |
现行 |
| GB/T 2900.104-2021 |
电工术语 微机电装置 |
国家市场监督管理总局.
|
2022-05-01 |
现行 |
| GB/T 32817-2016 |
半导体器件 微机电器件 MEMS总规范 |
国家质量监督检验检疫.
|
2017-03-01 |
现行 |
| GB/T 34893-2017 |
微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法 |
国家质量监督检验检疫.
|
2018-05-01 |
现行 |
| GB/T 34894-2017 |
微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法 |
国家质量监督检验检疫.
|
2018-05-01 |
现行 |
| GB/T 34898-2017 |
微机电系统（MEMS）技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法 |
国家质量监督检验检疫.
|
2018-05-01 |
现行 |
| GB/T 34899-2017 |
微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法 |
国家质量监督检验检疫.
|
2018-05-01 |
现行 |
| GB/T 34900-2017 |
微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法 |
国家质量监督检验检疫.
|
2018-05-01 |
现行 |
| GB/T 38341-2019 |
微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法 |
国家市场监督管理总局.
|
2020-04-01 |
现行 |
| GB/T 38446-2020 |
微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法 |
国家市场监督管理总局.
|
2020-10-01 |
现行 |
| GB/T 38447-2020 |
微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法 |
国家市场监督管理总局.
|
2020-07-01 |
现行 |
| GB/T 41852-2022 |
半导体器件 微机电器件 MEMS结构黏结强度的弯曲和剪切试验方法 |
国家市场监督管理总局.
|
2022-10-12 |
现行 |
| GB/T 41853-2022 |
半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量 |
国家市场监督管理总局.
|
2022-10-12 |
现行 |
| GB/T 42158-2023 |
微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法 |
国家市场监督管理总局.
|
2023-07-01 |
现行 |
| GB/T 42597-2023 |
微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪 |
国家市场监督管理总局.
|
2023-09-01 |
现行 |
| GB/T 42895-2023 |
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 |
国家市场监督管理总局.
|
2023-12-01 |
现行 |
| GB/T 42896-2023 |
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 |
国家市场监督管理总局.
|
2023-12-01 |
现行 |
| GB/T 42897-2023 |
微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 |
国家市场监督管理总局.
|
2023-12-01 |
现行 |
| JJF 1427-2013 |
微机电(MEMS)线加速度计校准规范 |
国家质量监督检验检疫.
|
2013-12-02 |
现行 |
| JJF 1535-2015 |
微机电（MEMS）陀螺仪校准规范 |
国家质量监督检验检疫.
|
2015-09-15 |
现行 |
| T/CIE 146-2022 |
微机电（MEMS）器件晶圆键合试验评价方法 |
中国电子学会
|
|
现行 |