GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法国家标准(GB)-工标网

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标准简介

本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。
本标准适用于室外温电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω·cm中间的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。
本标准测量氧含量的有效范围从1×1016at·cm-3到硅中间隙氧的最大固熔度。


英文名称：	The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
标准状态：	已作废
替代情况：	替代GB/T 14143-1993;GB/T 1557-1989;被GB/T 1557-2018代替
中标分类：	冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类：	冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
采标情况：	ASTM F1188-2000 MOD
发布部门：	中华人民共和国质量监督检验检疫总局和国家标准化管理委员会
发布日期：	2006-07-18
实施日期：	2006-11-01
作废日期：	2019-06-01
提出单位：	中国有色金属工业协会
归口单位：	全国有色金属标准化技术委员会
主管部门：	中国有色金属工业协会
起草单位：	峨眉半导体材料厂
起草人：	梁红、覃锐兵、王炎
计划单号：	20060512-T-610
页数：	7页
出版社：	中国标准出版社
出版日期：	2006-11-01
标准前页：	浏览标准前文 \|\| 下载标准前页

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