工标网 回首页
标准分类  最新标准New!  标准公告 标准动态  标准论坛
 高级查询
帮助 | 登录 | 注册
查标准上工标网 免费查询标准最新替代作废信息
 您的位置:工标网 >> >> GB/T 29506-2013

300mm 硅单晶抛光片

国家标准
标准编号:GB/T 29506-2013 标准状态:现行
标准价格:29.0 客户评分:星星星星1
立即购买工即可享受本标准状态变更提醒服务!
点击放入购物车 如何购买?问客服 放入收藏夹,免费跟踪本标准更替信息! 参与评论本标准
标准简介
本标准规定了直径300mm、p型、<100>晶向、电阻率0.5Ω·cm~20Ω·cm 规格的硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本标准适用于直径300mm 直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片,产品主要用于满足集成电路IC用线宽90nm 技术需求的衬底片。
英文名称:  300 mm polished monocrystalline silicon wafers
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
什么是ICS分类?  ICS分类:  电气工程>>29.045半导体材料
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2013-05-09
实施日期:  2014-02-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
主管部门:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
起草单位:  有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
起草人:  闫志瑞、孙燕、盛方毓、卢立延、张果虎、向磊
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2014-02-01
  [ 评论 ][ 关闭 ]
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。
本标准主要起草人:闫志瑞、孙燕、盛方毓、卢立延、张果虎、向磊。
引用标准
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T1550 非本征半导体材料导电类型测试方法
GB/T1554 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
GB/T1555 半导体单晶晶向测定方法
GB/T1557 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T1558 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
GB/T2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T4058 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
GB/T6616 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法
GB/T6624 硅抛光片表面质量目测检验方法
GB/T11073 硅片径向电阻率变化的测量方法
GB/T13388 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法
GB/T14140 硅片直径测量方法
GB/T14264 半导体材料术语
GB/T19921 硅抛光片表面颗粒测试方法
GB/T19922 硅片局部平整度非接触式标准测试方法
GB/T24578 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
GB/T26067 硅片切口尺寸测试方法
GB/T29504 300mm 硅单晶
GB/T29507 硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法
GB/T29508 300mm 硅单晶切割片和磨削片
YS/T26 硅片边缘轮廓检验方法
YS/T679 非本征半导体中少数载流子扩散长度的稳态表面光电压测试方法
SEMIMF1390 硅片翘曲度的无接触自动扫描测试方法
本标准相关公告
·中华人民共和国国家标准批准发布公告2013年第6号 [2013-05-19]

元素半导体材料相关标准 第1页 
 GB/T 29849-2013 用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
 GB/T 29850-2013 光伏电池用硅材料补偿度测量方法
 GB/T 29851-2013 光伏电池用硅材料中B、Al受主杂质含量的二次离子质谱测量方法
 GB/T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
 GB/T 30861-2014 太阳能电池用锗衬底片
 GB/T 31854-2015 光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
 GB/T 32573-2016 硅粉 总碳含量的测定 感应炉内燃烧后红外吸收法
 GB/T 32651-2016 采用高质量分辨率辉光放电质谱法测量太阳能级硅中痕量元素的测试方法
 GB/T 35307-2017 流化床法颗粒硅
 GB/T 35307-2023 流化床法颗粒硅
 免费下载元素半导体材料标准相关目录

半导体材料相关标准 第1页 第2页 
 GB/T 29508-2013 300mm 硅单晶切割片和磨削片
 GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱
 GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅
 GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片
 GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片
 GB/T 30854-2014 LED发光用氮化镓基外延片
 GB/T 30855-2014 LED外延芯片用磷化镓衬底
 GB/T 30856-2014 LED外延芯片用砷化镓衬底
 GB/T 30858-2014 蓝宝石单晶衬底抛光片
 GB/T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法
 免费下载半导体材料标准相关目录

 发表留言
内 容
  用户:   口令:  
 
 
客服中心
有问题?找在线客服 点击和客服交流,我们的在线时间是:工作日8:30至18:00,节假日;9:00至17:00。工标网欢迎您和我们联系!
未开通400地区或小灵通请直接拨打0898-3137 2222 400-7255-888
客服QQ 1197428036 992023608
MSN或电子邮件 18976748618 13876321121
温馨提示:标准更新替换较快,请注意您购买的标准时效性。
常见问题 帮助中心
我为什么找不到我想要的标准?
配送范围、配送时间和收费标准
如何付款,支持哪些付款方式?
您可能还需要 更多
计数抽样检验程序 第1部分: 按接收..
包装储运图示标志
质量管理体系 要求
标准化工作导则 第1部分:标准的结构..
《通用硅酸盐水泥》国家标准第1号修改..
数值修约规则与极限数值的表示和判定..
碳素结构钢 GB/T 700-2006
混凝土外加剂 GB 8076-2008
必备软件下载
Adobe Acrobat Reader 是一个查看、 阅读和打印PDF文件的最佳工具,通 过它可以查阅本站的标准文档
pdf下载
搜索更多
google 中搜索:GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片
baidu 中搜索:GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片
yahoo 中搜索:GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片
soso 中搜索:GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片
中搜索:GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片
 
付款方式 - 关于我们 - 帮助中心 - 联系我们 - 诚聘英才 - 合作伙伴 - 使用条款
QQ:1197428036 992023608 有问题? 联系在线客服
Copyright © 工标网 2005-2023,All Right Reserved