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| 英文名称： |
Laser lift-off equipment used for GaN |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合 |
| ICS分类： |
31-550 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2019-06-04 |
| 实施日期： |
2019-10-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院 |
| 起草人： |
孙永健、刘鹏、丁晓民、冯亚彬、汪青 |
| 页数： |
20页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |