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标准编号 标准名称 发布部门 实施日期 状态  GB/T 16524-1996  光掩模对准标记规范 国家技术监督局 1997-05-01 现行  GB/T 29845-2013  半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则 国家质量监督检验检疫. 2014-04-15 现行  GB/T 30116-2013  半导体生产设施电磁兼容性要求 国家质量监督检验检疫. 2014-04-15 现行  GB/T 36646-2018  制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备 国家市场监督管理总局. 2019-01-01 现行  GB/T 37466-2019  氮化镓激光剥离设备 国家市场监督管理总局. 2019-10-01 现行  GB/T 40577-2021  集成电路制造设备术语 国家市场监督管理总局. 2022-05-01 现行  GB/T 41213-2021  集成电路用全自动装片机 国家市场监督管理总局. 2022-07-01 现行  SJ 142-1978  电子工业专用设备总技术要求 2002-07-01 作废  SJ 1635-1980  电子工业管道涂色规定 2002-05-01 作废  SJ/T 1635-1996  电子工业管路的基本识别色和识别符号 1996-11-01 现行  SJ 20385A-2008  军用电子设备电气装配技术要求 现行  SJ 20984-2008  化学气相淀积(CVD)设备通用规范 现行  SJ 20985-2008  军用电子整机腐蚀防护工艺设计与控制指南 现行  SJ 210-1966  无线电工业专用生产设备 设计文件的编号(试行) 2004-03-01 作废  SJ 37-1977  电子工业专用生产设备型号命名方法 1988-06-01 作废

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