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光掩模对准标记规范

国家标准
标准编号:GB/T 16524-1996 标准状态:现行
标准价格:24.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。
英文名称:  Specification for registration marks for photomasks
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合
什么是ICS分类?  ICS分类:  电子学>>31.200集成电路、微电子学
什么是采标情况? 采标情况:  =SEMI P6-88
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1996-09-09
实施日期:  1997-05-01
首发日期:  1996-09-09
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  中国科学院微电子中心
页数:  平装16开, 页数:6, 字数:6千字
出版社:  中国标准出版社
书号:  155066.1-13684
出版日期:  2004-04-10
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