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半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范

国家标准
标准编号:T/CEMIA 024-2021 标准状态:现行
标准价格:16.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。
本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚的生产过程。
英文名称:  Quartz crucible manufacturing practices for semiconductor monosilicon growth
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
什么是ICS分类?  ICS分类:  电气工程>>29.045半导体材料
发布部门:  中国电子材料行业协会
发布日期:  2021-07-15
实施日期:  2021-12-25
提出单位:  中国电子材料行业协会
什么是归口单位? 归口单位:  中国电子材料行业协会
起草单位:  锦州佑鑫石英科技有限公司、内蒙古欧晶科技股份有限公司、江西中昱新材料科技有限公司
起草人:  陈曼、何文兵、苏光都、李宗辉、杜兴林、王文庆、朱旦、徐晓军、朱剑、李晓航、王君伟、王慧、韩东、李秀英、钱宜刚、贾建亮、万鹏远、潘志华、杨军、周锐
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
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