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| 英文名称： |
Electronic gas—Halide gas |
 替代情况： |
替代GB/T 14603-2009;GB/T 26251-2010;GB/T 18994-2014;GB/T 14602-2014;GB/T 17874-2021 |
| 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2025-08-01 |
| 实施日期： |
2026-02-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
昊华气体有限公司西南分公司、福建德尔科技股份有限公司、山东合益气体股份有限公司、浙江瑞亨电子材料有限公司、北京华宇同方化工科技开发有限公司、福建福豆新材料有限公司、大连华邦化学有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、福建永晶科技股份有限公司等 |
| 起草人： |
赖晓峰、陈施华、杨军、李建新、郭晓俊、马建修、李嘉磊、王哲军、李智、孙芳、郭琼、侯鹏、钱吉、赵斌、吴希湖、刘春花、李文、李长健、彭佛晓、任如、徐正军、郑存强、倪志远、赵晓兰、董晓阳、陆岩柱、陈志强、王红球、黄韬、汤萍、吴禹强、何经余、李景升、赵银凤等 |
| 页数： |
32页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |