电子工业用气体 硅烷(SiH4) |
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| 标准编号：GB/T 15909-1995 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：10.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。 |
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| 英文名称： |
Gas for electronic industry－Silane |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 15909-2009代替 |
| 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 采标情况： |
＝SEMI-93 |
| 发布部门： |
国家技术监督局 |
| 发布日期： |
1995-01-02 |
| 实施日期： |
1996-08-01
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| 作废日期： |
2010-05-01
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| 首发日期： |
1995-12-20 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
化工部西南化工研究院 |
| 页数： |
平装16开， 页数：9， 字数：13千字 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 标准前页： |
浏览标准前文 || 下载标准前页 |
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