集成电路用混合气体 1.2%氦/氮 |
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| 标准编号：T/ICMTIA ESG0024-2022 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：29.0 元 |
客户评分：  |
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本文件规定了瓶装1.2%氦/氮混合气的技术要求、检验规则、试验方法以及标志、包装、运输、储存的要求。
本文件适用于集成电路用1.2%氦/氮混合气，其它组分比例的氦/氮混合气可以参考执行。 |
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 ICS分类： |
综合、术语学、标准化、文献>>01.020术语学(原则和协调配合) |
| 发布部门： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 发布日期： |
2022-05-10 |
| 实施日期： |
2022-05-31
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| 提出单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 归口单位： |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 起草单位： |
中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八研究所、大连科利德化工科技开发有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司 |
| 起草人： |
郑秋艳、苏子杰、崔雯、滕莹、陈良、李晓红，施旖旎、李庆东、唐中伟 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
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