电子工业用气体 氧 |
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| 标准编号：GB/T 14604-1993 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：10.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求，检验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。电子工业用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离。也可用于光导纤维。 |
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| 英文名称： |
Gases for electronic industry. Oxygen |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 14604-2009代替 |
| 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 采标情况： |
≈SEMI C3 STD.16-86 C3 STD.17-86 C3.23-90 |
| 发布部门： |
国家技术监督局 |
| 发布日期： |
1993-08-26 |
| 实施日期： |
1994-07-01
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| 作废日期： |
2010-05-01
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| 首发日期： |
1993-08-26 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
化工部西南化工研究院 |
| 页数： |
7页 |
| 标准前页： |
浏览标准前文 || 下载标准前页 |
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