工标网 回首页
标准分类  最新标准New!  标准公告 标准动态  标准论坛
 高级查询
帮助 | 登录 | 注册
查标准上工标网 免费查询标准最新替代作废信息
 您的位置:工标网 >> 国家标准(GB) >> GB/T 6621-1995

硅抛光片表面平整度测试方法

国家标准
标准编号:GB/T 6621-1995 标准状态:已作废
标准价格:10.0 客户评分:星星星星1
本标准有现货可当天发货一线城市最快隔天可到!
点击放入购物车 如何购买?问客服 放入收藏夹,免费跟踪本标准更替信息! 参与评论本标准
标准简介
本标准规定了用相干光的干涉现象测量硅抛光片表面平整度的方法。本标准适用于检测硅抛光片的表面平整度,也适用于检测硅外延片和类镜面状半导体晶片的表面平整度。
英文名称:  Test methods for surface flatness of silicon polished slices
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  GB 6621-1986;被GB/T 6621-2009代替
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  29.040.30
什么是UDC分类?  UDC分类:  669.782-415.056.9;620.191.4
什么是采标情况? 采标情况:  ASTM F 775-1988,EQV
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1995-04-18
实施日期:  1995-01-02
作废日期:  2010-06-01
首发日期:  1986-07-26
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  电子部标准化所
页数:  平装16开, 页数:11, 字数:21千字
出版社:  中国标准出版社
标准前页: 浏览标准前文  || 下载标准前页   
相关搜索: 半导体材料  平整度 表面  [ 评论 ][ 关闭 ]

金属物理性能试验方法相关标准 第1页 第2页 第3页 第4页 第5页 更多>> 
 GB/T 8015.1-1987 铝及铝合金阳极氧化膜厚度的试验方法 重量法
 GB/T 8015.2-1987 铝及铝合金阳极氧化膜厚度的试验方法 分光束显微法
 GB/T 8359-1987 高速钢中碳化物相的定量分析 X射线衍射仪法
 GB/T 8360-1987 金属点阵常数的测定方法 X射线衍射仪法
 GB/T 8362-1987 钢中残余奥氏体定量测定 X射线衍射仪法
 GB/T 8364-1987 热双金属比弯曲试验方法
 GB/T 8364-2003 热双金属比弯曲试验方法
 GB/T 8364-2008 热双金属热弯曲试验方法
 GB/T 8643-1988 含润滑剂金属粉末中润滑剂含量的测定索格利特(Soxhlet)萃取法
 GB/T 8643-2002 含润滑剂金属粉末中润滑剂含量的测定 修正的索格利特(Soxhlet)萃取法
 免费下载金属物理性能试验方法标准相关目录

相关标准 第1页 
 ZB G 13002-1990 精制硫磺粉
 ZB J 52002.7-1987 JB J52-002.1-20-878
 ZBT/U 06003-1989 船舶电气设备安装工艺
 ZC 0009-2006 专利文献著录项目标准(试行)
 ZC 0010-2006 采用公历标示日期的规范(试行)
 ZC 0011-2006 专利费用基本信息代码规范(试行)
 ZC 0012.1-2006 专利数据元素标准第1部分:关于用XML处理复审请求审查决定、无效请求审查决定和司法判决文件的暂行办法
 ZC 0012.2-2006 专利数据元素标准第2部分:关于用XML处理中国发明、实用新型专利文献数据的暂行办法
 农业部2122号公告-2-2014 转基因动物及其产品成分检测 羊内标准基因定性PCR方法
 轴一致。自由阻抗的I>X h
 免费下载标准相关目录

 发表留言
内 容
  用户:   口令:  
 
 
客服中心
有问题?找在线客服 点击和客服交流,我们的在线时间是:工作日8:30至18:00,节假日;9:00至17:00。工标网欢迎您和我们联系!
未开通400地区或小灵通请直接拨打0898-3137 2222 400-7255-888
客服QQ 1197428036 992023608
MSN或电子邮件 18976748618 13876321121
温馨提示:标准更新替换较快,请注意您购买的标准时效性。
常见问题 帮助中心
我为什么找不到我想要的标准?
配送范围、配送时间和收费标准
如何付款,支持哪些付款方式?
您可能还需要 更多
硅抛光片表面颗粒测试方法
硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法 ..
硅抛光片表面质量目测检验方法
硅单晶抛光片 GB/T 12964-2003
蓝宝石单晶抛光衬底片
金属材料杨氏模量,切变模量及泊松比测..
掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算..
金属材料热膨胀特征参数的测定
必备软件下载
Adobe Acrobat Reader 是一个查看、 阅读和打印PDF文件的最佳工具,通 过它可以查阅本站的标准文档
pdf下载
搜索更多
google 中搜索:GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法
baidu 中搜索:GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法
yahoo 中搜索:GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法
soso 中搜索:GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法
中搜索:GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法
 
付款方式 - 关于我们 - 帮助中心 - 联系我们 - 诚聘英才 - 合作伙伴 - 使用条款
QQ:1197428036 992023608 有问题? 联系在线客服
Copyright © 工标网 2005-2023,All Right Reserved