标准编号 |
标准名称 |
发布部门 |
实施日期 |
状态 |
GB/T 11068-1989 |
砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法 |
国家技术监督局
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1990-02-01 |
作废 |
GB/T 11068-2006 |
砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2006-11-01 |
现行 |
GB/T 14141-1993 |
硅外延层,扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法 |
国家技术监督局
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1993-10-01 |
作废 |
GB/T 14141-2009 |
硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
GB/T 14142-1993 |
硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法 |
国家技术监督局
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1993-10-01 |
作废 |
GB/T 14142-2017 |
硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法 |
国家质量监督检验检疫.
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2018-04-01 |
现行 |
GB/T 14145-1993 |
硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法 |
国家技术监督局
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1993-10-01 |
作废 |
GB/T 14146-1993 |
硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容--电压法 |
国家技术监督局
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1993-10-01 |
作废 |
GB/T 14146-2009 |
硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
作废 |
GB/T 14146-2021 |
硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法 |
国家市场监督管理总局.
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2021-12-01 |
现行 |
GB/T 14847-1993 |
重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 |
国家技术监督局
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1994-09-01 |
作废 |
GB/T 14847-2010 |
重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-10-01 |
现行 |
GB/T 14863-1993 |
用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的标准方法 |
国家技术监督局
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1994-10-01 |
作废 |
GB/T 14863-2013 |
用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2014-08-15 |
废止 |
GB/T 42905-2023 |
碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法 |
国家市场监督管理总局.
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2024-03-01 |
现行 |
GB/T 42905-2023E |
碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法(英文版) |
国家市场监督管理总局.
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2024-03-01 |
现行 |
GB/T 8758-1988 |
砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 |
国家标准局
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1989-02-01 |
作废 |
GB/T 8758-2006 |
砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2006-11-01 |
现行 |
SJ/T 10481-1994 |
硅外延层电阻率的面接触三探针测试方法 |
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1994-10-01 |
废止 |
SJ 1551-1979 |
硅外延层电阻率测试方法(电容-电压法)(暂行) |
第四机械工业部
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1980-06-01 |
废止 |
SJ 1551-79 |
硅外延层电阻率测试方法(电容-电压法)(暂行) |
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1980-06-01 |
废止 |
SJ 2758-1987 |
同型外延层厚度的红外干涉测试方法 |
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1987-07-01 |
废止 |
SJ 3244.2-1989 |
砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法 |
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1989-03-25 |
废止 |
SJ 3247-1989 |
同型砷化镓外延层厚度的红外干涉测试方法 |
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1989-03-25 |
废止 |
T/IAWBS 003-2017 |
碳化硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法 |
中关村天合宽禁带半导.
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2017-12-31 |
现行 |