| 标准编号 |
标准名称 |
发布部门 |
实施日期 |
状态 |
| GB/T 13387-2009 |
硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 13388-2009 |
硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 14139-2009 |
硅外延片 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
作废 |
| GB/T 14141-2009 |
硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 14144-2009 |
硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 14146-2009 |
硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
作废 |
| GB/T 14264-1993 |
半导体材料术语 |
国家技术监督局
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1993-01-02 |
作废 |
| GB/T 14264-2009 |
半导体材料术语 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 14844-1993 |
半导体材料牌号表示方法 |
国家技术监督局
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1994-09-01 |
作废 |
| GB/T 14844-2018 |
半导体材料牌号表示方法 |
国家市场监督管理总局.
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2019-11-01 |
现行 |
| GB/T 14847-2010 |
重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-10-01 |
现行 |
| GB/T 14863-2013 |
用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2014-08-15 |
废止 |
| GB/T 1551-2009 |
硅单晶电阻率测定方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
作废 |
| GB/T 1553-2009 |
硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
作废 |
| GB/T 1554-2009 |
硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 1555-2009 |
半导体单晶晶向测定方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
作废 |
| GB/T 1558-2009 |
硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 16595-2019 |
晶片通用网格规范 |
国家市场监督管理总局.
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2020-02-01 |
现行 |
| GB/T 16596-2019 |
确定晶片坐标系规范 |
国家市场监督管理总局.
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2020-02-01 |
现行 |
| GB/T 24574-2009 |
硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 24575-2009 |
硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 24576-2009 |
高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 24577-2009 |
热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 24578-2009 |
硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
作废 |
| GB/T 24579-2009 |
酸浸取 原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 24580-2009 |
重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
现行 |
| GB/T 24581-2009 |
低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
作废 |
| GB/T 24582-2009 |
酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质 |
国家质量监督检验检疫.
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2010-06-01 |
作废 |
| GB/T 25075-2010 |
太阳能电池用砷化镓单晶 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-04-01 |
现行 |
| GB/T 25076-2010 |
太阳电池用硅单晶 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-04-01 |
作废 |
| GB/T 26065-2010 |
硅单晶抛光试验片规范 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-10-01 |
现行 |
| GB/T 26066-2010 |
硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-10-01 |
现行 |
| GB/T 26068-2010 |
硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-10-01 |
作废 |
| GB/T 26069-2010 |
硅退火片规范 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-10-01 |
作废 |
| GB/T 26071-2010 |
太阳能电池用硅单晶切割片 |
国家质量监督检验检疫.
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2011-10-01 |
作废 |
| GB/T 29057-2012 |
用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程 |
国家质量监督检验检疫.
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2013-10-01 |
作废 |
| GB/T 29057-2023 |
用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程 |
国家市场监督管理总局.
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2024-03-01 |
现行 |
| GB/T 29505-2013 |
硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2014-02-01 |
现行 |
| GB/T 29507-2013 |
硅片平整度、厚度及总厚度变化测试 自动非接触扫描法 |
国家质量监督检验检疫.
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2014-02-01 |
现行 |
| GB/T 30110-2013 |
空间红外探测器碲镉汞外延材料参数测试方法 |
国家质量监督检验检疫.
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2014-05-15 |
现行 |