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表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度

国家标准
标准编号:GB/T 20176-2006 标准状态:现行
标准价格:21.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准详细说明了用标定的均匀掺杂物质确定单晶硅中硼的原子浓度的二次离子质谱方法。
英文名称:  Surface chemical analysis-Secondary-ion mass spectrometry-Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
什么是中标分类? 中标分类:  仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
什么是采标情况? 采标情况:  IDT ISO 14237:2000
发布部门:  国家标准化管理委员会
发布日期:  2006-03-27
实施日期:  2006-11-01
首发日期:  2006-03-27
提出单位:  全国微束分析标准化技术委员会
什么是归口单位? 归口单位:  全国微束分析标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  清华大学电子工程系
起草人:  查良镇、陈旭、王光普、黄雁华、黄天斌、刘林、葛欣、桂东
计划单号:  20010510-T-469
页数:  平装16开 页数:20, 字数:32千字
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2006-11-01
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本标准相关公告
·中华人民共和国国家标准批准发布公告2006年第5号 (总第92号) [2006-09-14]

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